| 摘要 |
<p>본 발명의 FOUP 반송용 컨베이어는 상호 대향되게 배치되는 레일과, 상기 레일의 길이방향을 따라 회전 가능하게 장착되어 상호 대향하며 웨이퍼 캐리지(Front Opening Unified POD, 이하 'FOUP')를 일방향으로 이송시키는 복수의 가이드롤러와, 상기 한 쌍의 레일 일단부에 각각 장착되어 상호 대면하고 구동력을 전달받아 정, 역회전하는 풀리 어셈블리와, 상기 풀리 어셈블리와 상기 가이드롤러의 외주면을 감싸며 상기 레일의 길이 방향을 따라 양측에서 접촉면적을 제공하는 탄성 재질의 벨트와, 상기 한 쌍의 레일 중 일측의 레일 양단부에 장착되어 상기 풀리 어셈블리에 구동력 전달여부의 신호와 함께 상기 FOUP의 위치를 메인 서버로 전송하는 센서부를 포함하며, 상기 풀리 어셈블리의 일측 외주면과 상기 가이드롤러의 일측 외주면은 같은 선상에 배치되고, 상기 레일은 복수의 것이 일렬로 가감 가능하게 배치된다.</p> |
