WORK PIECE ALIGNMENT DEVICE

摘要

본 발명은 정렬장치에 관한 것으로, 복수 개의 정렬 마크를 가지는 피측정체와, 피측정체의 위치를 측정하도록 복수 개의 정렬계를 가지는 정렬 광학계와, 복수 개의 정렬계 중 인접하는 정렬계간의 간격이 복수의 정렬 마크 중 인접하는 정렬 마크간의 간격보다 큰 경우 인접하는 정렬 마크들에서 반사된 정렬광을 분기시켜 인접하는 정렬계들 각각으로 전달하는 광학부재를 포함하여 구성되는 것이다.