三轴压电感应器

摘要

一种三轴压电感应器包括一聚偏氟乙烯层、一第一线路层及一第二线路层。聚偏氟乙烯层具有复数第一电极位于上表面及复数第二电极位于下表面。各第一电极与各第二电极彼此相对应，以形成X-Y-Z三轴向的极化方向。第一线路层具有复数第一电性连接部位于第一线路层的下表面以及复数第一讯号线路位于该第一线路层的上表面，且各第一电性连接部与各第一电极彼此相对应。第二线路层具有复数第二电性连接部位于该第二线路层的上表面以及复数第二讯号线路位于该第二线路层的下表面，且各第二电性连接部与各第二电极彼此相对应。聚偏氟乙烯层被夹在第一线路层与第二线路层之间，当聚偏氟乙烯层受外力产生形变时，第一讯号线路与第二讯号线路传输聚偏氟乙烯层因形变产生的电力讯号。

主权项

一种三轴压电感应器，其包括：一聚偏氟乙烯(Polyvinylidene，PVDF)层，其具有复数第一电极位于上表面及复数第二电极位于下表面，各第一电极与各第二电极彼此相对应，以形成X-Y-Z三轴向的极化方向；一第一线路层，其具有复数第一电性连接部位于该第一线路层的下表面以及复数第一讯号线路位于该第一线路层的上表面，且各第一电性连接部与各第一电极彼此相对应；以及一第二线路层，其具有复数第二电性连接部位于该第二线路层的上表面以及复数第二讯号线路位于该第二线路层的下表面，且各第二电性连接部与各第二电极彼此相对应；该聚偏氟乙烯层被夹在该第一线路层与该第二线路层之间，当该聚偏氟乙烯层受外力产生形变时，该复数第一讯号线路与该复数第二讯号线路传输该聚偏氟乙烯层因形变产生的电力讯号。如申请专利范围第1项所述之三轴压电感应器，其中，该复数第一电极与该复数第二电极是以物理气相沉积法(PVD)沉积在该聚偏氟乙烯层，且各第一电极包括一圆形部与复数弧形段，该复数弧形段围绕着该圆形部，以产生X-Y轴向的极化方向；以及各第二电极包括一对应圆形部，其分别对应于各圆形部，以产生Z轴向的极化方向。如申请专利范围第1项所述之三轴压电感应器，其中该复数第一电极是以物理气相沉积法(PVD)沉积在该聚偏氟乙烯层，且各第一电极包括一多角形部与复数线段，各线段分别位于该多角形部的各边之外，以产生X-Y轴向的极化方向，且各第二电极位包括一对应多角形部，其分别对应于各多角形部。如申请专利范围第1项所述之三轴压电感应器，更包括二橡胶层分别位于该第一线路层之上与该第二线路层之下，且各橡胶层包括复数突出部，当该聚偏氟乙烯层受外力时，该复数突出部可加强外力。一种三轴压电感应器，其包括：一第一聚偏氟乙烯层，其具有复数第一电极位于上表面及复数第二电极位于下表面，各第一电极与各第二电极彼此相对应，以形成Z轴向的极化方向；一第一线路层，其具有复数第一电性连接部位于该第一线路层的下表面以及复数第一讯号线路位于该第一线路层的上表面，且各第一电性连接部与各第一电极彼此相对应；一第二线路层，其具有复数第二电性连接部位于该第二线路层的上表面以及复数第二讯号线路位于该第二线路层的下表面，且各第二电性连接部与各第二电极彼此相对应；一第二聚偏氟乙烯层，其具有复数第三电极位于上表面，以形成X-Y轴向的极化方向；以及一第三线路层，其具有复数第三电性连接部位于该第三线路层的下表面以及复数第三讯号线路位于该第二线路层的上表面，且各第三电性连接部与各第三电极彼此相对应；其中该第一聚偏氟乙烯层被夹在该第一线路层与该第二线路层之间，且第三线路层位于该第二聚偏氟乙烯层之上，当该第一聚偏氟乙烯层与该第二聚偏氟乙烯层受外力产生形变时，该复数第一讯号线路、该复数第二讯号线路及该复数第三讯号线路分别传输该第一聚偏氟乙烯层与该第二聚偏氟乙烯层因形变产生的电力讯号。如申请专利范围第5项所述之三轴压电感应器，其中，该复数第一电极、该复数第二电极及该复数第三电极是以物理气相沉积法(PVD)分别沉积在该第一聚偏氟乙烯层及该第二聚偏氟乙烯层，且各第一电极包括一第一圆形部，各第二电极包括一对应圆形部，其分别对应于各第一圆形部，以产生Z轴向的极化方向，以及各第三电极包括一第二圆形部与复数弧形段，该复数弧形段围绕着该第二圆形部，以产生X-Y轴向的极化方向。如申请专利范围第5项所述之三轴压电感应器，其中，该复数第一电极、该复数第二电极及该复数第三电极是以物理气相沉积法(PVD)分别沉积在该第一聚偏氟乙烯层及该第二聚偏氟乙烯层，且各第一电极包括一第一多角形部，各第二电极包括一对应多角形部，其分别对应于各第一多角形部，以产生Z轴向的极化方向，以及各第三电极包括一第二多角形部与复数线段，各线段分别位于该第二多角形部的各边外，以产生X-Y轴向的极化方向。一种三轴压电感应器，其包括：一第一聚偏氟乙烯层，其具有复数第一电极位于上表面及复数第二电极位于下表面，各第一电极与各第二电极彼此相对应，以形成Z轴向的极化方向；一第一线路层，其具有复数第一电性连接部位于该第一线路层的下表面以及复数第一讯号线路位于该第一线路层的上表面，且各第一电性连接部与各第一电极彼此相对应；一第二线路层，其具有复数第二电性连接部位于该第二线路层的上表面以及复数第二讯号线路位于该第二线路层的下表面，且各第二电性连接部与各第二电极彼此相对应；一第二聚偏氟乙烯层，其具有复数第三电极位于上表面，该复数第三电极的形状是指叉型，以形成X轴向的极化方向；一第三线路层，其具有复数第三电性连接部位于该第三线路层的下表面以及复数第三讯号线路位于该第三线路层的上表面；一第三聚偏氟乙烯层，其具有复数第四电极位于上表面，该复数第四电极的形状是指叉型，以形成Y轴向的极化方向；一第五线路层，其具有复数第五电性连接部位于该第五线路层的下表面以及复数第五讯号线路位于该第五线路层的上表面；其中该第一聚偏氟乙烯层被夹在该第一线路层与该第二线路层之间，该第三线路层位于该第二聚偏氟乙烯层之上，且该第五线路层位于该第三聚偏氟乙烯层之上，当该第一聚偏氟乙烯层、该第二聚偏氟乙烯层与该第三聚偏氟乙烯层受外力产生形变时，该复数第一讯号线路、该复数第二讯号线路、该复数第三讯号线路及该复数第五讯号线路分别传输该第一聚偏氟乙烯层、该第二聚偏氟乙烯层与该第三聚偏氟乙烯层因形变产生的电力讯号。如申请专利范围第8项所述之三轴压电感应器，其中各第三电性连接部与各第五电性连接部为长条形，且彼此相对应。如申请专利范围第8项所述之三轴压电感应器，更包括：一第四线路层，其具有复数第四电性连接部位于该第四线路层的上表面以及复数第四讯号线路位于该第四线路层的下表面，且各第三电性连接部与各第四电性连接部为方形或圆形，且彼此相对应；一第六线路层，其具有复数第六电性连接部位于该第六线路层的上表面以及复数第六讯号线路位于该第六线路层的下表面，且各第五电性连接部与各第六电性连接部为方形或圆形，且彼此相对应；其中，该第二聚偏氟乙烯层被夹在该第三线路层与该第四线路层之间，且该第三聚偏氟乙烯层被夹在该第五线路层与该第六线路层之间，当该第一聚偏氟乙烯层、该第二聚偏氟乙烯层与该第三聚偏氟乙烯层受外力产生形变时，该复数第一讯号线路、该复数第二讯号线路、该复数第三讯号线路、该复数第四讯号线路、该复数第五讯号线路及该复数第六讯号线路分别传输该第一聚偏氟乙烯层、该第二聚偏氟乙烯层与该第三聚偏氟乙烯层因形变产生的电力讯号。