| 主权项 |
一种吸收型多层膜ND滤光片，其系为在由树脂膜、树脂板或玻璃薄板所构成的基板上设置衰减透射光用的吸收型多层膜而成，其中上述吸收型多层膜系由SiO2、Al2O3或此等混合物所成的介电体层与由添加由Ti、Al、V、W、Ta、Si所选出的1种以上元素而成之Ni系合金所成的金属膜层经交互积层而成的多层膜所构成，而且该吸收型多层膜系分别地形成在上述基板的两面上，以该基板当作中心而成为互相对称的膜构造之方式，而将基板的翘曲之曲率半径调整在500mm以上，并且分别设定构成上述金属膜层之Ni系合金中的Ti元素的添加比例为5~15重量%，Al元素的添加比例为3~8重量%，V元素的添加比例为3~9重量%，W元素的添加比例为18~32重量%，Ta元素的添加比例为5~12重量%，Si元素的添加比例为2~6重量%的范围，且在0.400μm~0.800μm的可见区域全范围之透射率的变动幅度为10%以下。如申请专利范围第1项之吸收型多层膜ND滤光片，其中上述SiO2、Al2O3或此等混合物所成的基板一侧之介电体层的合计膜厚系设定在100nm以上，而且由Ni系合金所成的基板一侧之金属膜层的合计膜厚系设定在30nm以下。如申请专利范围第1项之吸收型多层膜ND滤光片，其中上述SiO2、Al2O3或此等混合物所成的各介电体层之膜厚系设定在全部同一膜厚，而且由Ni系合金所成的各金属膜层之膜厚亦设定在全部同一膜厚。 |
