电流测定装置、测试装置、电流测定方法以及测试方法

摘要

本发明提供一种电流测定装置，其对由电子元件输入端所接收的电流进行测定且具备：第1电容器，其在电流测定中储存一种作为供给至电子元件中的电压的基准用的基准供给电压；第1开关，其在电流测定前使电源连接至第1电容器以储存着此基准供给电压，电流测定中则使电源由第1电容器切断；电流供给部，其在电流测定中使第1电容器中已储存的基准供给电压和该输入端子的端子电压为基准之电流供给至电子元件中；以及第1电流测定部，其对供给至此电子元件中的供给电流进行测定。

主权项

一种电流测定装置，其对由电子元件的输入端子所接收的电流进行测定，其具备：第1电容器，其在测定该电流的期间，储存作为供给至该电子元件中的电压的基准用的基准供给电压；第1开关，其在测定该电流之前使电源连接至该第1电容器以储存该基准供给电压，在测定该电流的期间则使该电源由该第1电容器切断；电流供给部，其在测定该电流的期间，使该第1电容器中已储存的该基准供给电压和该输入端子的端子电压为基准之电流，供给至该电子元件中；以及第1电流测定部，其对供给至该电子元件中的供给电流进行测定。如申请专利范围第1项所述之电流测定装置，其中该电流供给部具有：第1差值放大器，其使由该基准供给电压减去该端子电压所得的差被放大，以输出加至该基准供给电压之电压；以及电阻，其连接在该第1差值放大器的输出和该输入端子之间，使该第1差值放大器的输出电压和该端子电压的差所对应的该供给电流供给至该输入端子。如申请专利范围第2项所述之电流测定装置，其中该第1电流测定部具有：差值运算器，其使该电阻中由该第1差值放大器侧的输出电压减去该电阻中该输入端子侧的该端子电压后所得的差值电压被输出；以及测定部，其依据该差值电压以测定该供给电流。如申请专利范围第3项所述之电流测定装置，其中该第1电流测定部更具有：电压源，其输出一已预先设定完成的测定用基准电压；以及第2差值放大器，其使该差值电压和该测定用基准电压的差放大后的差值放大电压被输出，该测定部依据该差值放大电压来对该供给电流进行测定。如申请专利范围第4项所述之电流测定装置，其中该第1电流测定部另外具有低通滤波器，其连接在该电压源和该第2差值放大器之间。如申请专利范围第3项所述之电流测定装置，其中该电流测定装置更具有补正部，其藉由使该差值电压所对应的补正电压相加至该基准供给电压，以对该基准供给电压进行补正，该电流供给部在测定该电流的期间，使藉由该补正部所补正的该基准供给电压和该端子电压为基准的电流供给至该电子元件中。如申请专利范围第6项所述之电流测定装置，其中该补正部具有：加算器，其使该差值电压所对应的该补正电压加至该基准供给电压；以及第2电容器，其储存着该加算器的输出电压以供给至该第1差值放大器。如申请专利范围第7项所述之电流测定装置，其中该补正部更具有第2开关，其设在该加算器的输出和该第2电容器之间，由电流测定开始至一预定的期间之间，使该第2电容器连接至该加算器的输出，以储存着该加算器的输出电压，在经过该预定的期间之后，使该加算器的输出和该第2电容器之间进行切断。如申请专利范围第1项所述之电流测定装置，其中该电流测定装置更具备：电源，其在测定该电流之前，使该基准供给电压供给至该第1电容器和该输入端子；第3开关，其在测定该电流的期间，使该电源从该第1电容器和该输入端子切断；以及电压调整部，其在测定该电流的期间，使预定的偏移电压加至该第1电容器中已储存的该基准供给电压以供给至电流供给部，藉此使在测定该电流的期间的该端子电压与在测定该电流之前的端子电压比较时成为较高。如申请专利范围第9项所述之电流测定装置，其中该第3开关串联地具有：第1电晶体，其设在该电源和该输入端子之间的配线以及该第1开关中未连接该第1电容器的端部和该电源之间的配线之接点、和该电源的输出端子之间，以便在该电源的输出端子和该接点之间成为关闭(off)时，使由该电源的输出端子侧流向该接点侧的电流被遮断；以及第2电晶体，其使由该接点侧流向该电源的输出端子侧的电流被遮断。如申请专利范围第10项所述之电流测定装置，其中该电流测定装置更具备：第4开关，其设在该第3开关的该输入端子侧的端子和该第1差值放大器之间；第5开关，其设在该电阻的该输入端子侧的端部和该输入端子之间；第2电流测定部，其对该电源供给至该输入端子的电流进行测定；以及测试控制部，其对该电子元件动作中所接收的动作电流作测定时的动作电流测试、以及该电子元件静止中所接收的静止电流作测定时的静止电流测试进行控制，该测试控制部可在该动作电流测试时使该第3开关导通，该第4开关和该第5开关断开(off)，藉由该第2电流测定部来对该电源供给至该输入端子的电流进行测定，以作为该动作电流，在该静止电流测试时使该第3开关断开，该第4开关和该第5开关导通，依据该第1电容器中所储存的该基准供给电压和该端子电压，藉由该第1电流测定部来对供给至该电子元件中的电流进行测定，以作为该静止电流。如申请专利范围第1项所述之电流测定装置，其中该电流测定装置另外具备一测定无效检出部，在测定该电流的期间，若该第1电流测定部所测定的该供给电流变成较预先设定的门限值电流还大时，则该测定无效检出部即检出”该电流测定为无效”之事实。如申请专利范围第12项所述之电流测定装置，其中该电流测定装置更具备：电源，其在测定该电流之前，使该基准供给电压供给至该第1电容器和该输入端子；第3开关，其在测定该电流的期间，使该电源从该第1电容器和该输入端子切断，该测定无效检出部在已检出”该电流测定为无效”的事实时，使该第3开关成为导通，以使电流由该电源供给至该电子元件中。一种测试装置，其对电子元件进行测试，且具备：第1电容器，其在测定该电流的期间，储存着作为供给至该电子元件中的电压的基准用的基准供给电压；第1开关，其在测定该电流之前使电源连接至该第1电容器以储存着该基准供给电压，在测定该电流的期间则使该电源由该第1电容器切断；电流供给部，其在测定该电流的期间，使该第1电容器中已储存的该基准供给电压和该电子元件的输入端子的端子电压为基准的电流，供给至该电子元件中；以及第1电流测定部，其对供给至该电子元件中的供给电流进行测定。一种电流测定方法，其对由电子元件的输入端子所接收的电流进行测定，且具备：基准供给电压储存步骤，其在测定该电流的期间，使成为供给至该电子元件中的电压的基准用的基准供给电压储存在第1电容器中；控制步骤，其控制着第1开关，以便在测定该电流之前使电源连接至该第1电容器以储存着该基准供给电压，在测定该电流的期间则使该电源由该第1电容器切断；电流供给步骤，其在测定该电流的期间，使该第1电容器中已储存的该基准供给电压和该输入端子的端子电压为基准的电流，供给至该电子元件中；以及第1电流测定步骤，其对供给至该电子元件中的供给电流进行测定。一种对电子元件进行测试所用的测试方法，其具备：基准供给电压储存步骤，其在测定该电流的期间，使成为供给至该电子元件中的电压的基准用的基准供给电压储存在第1电容器中；第1开关控制步骤，其控制着第1开关，以便在测定该电流之前使电源连接至该第1电容器以储存着该基准供给电压，在测定该电流的期间则使该电源由该第1电容器切断；电流供给步骤，其在测定该电流的期间，使该第1电容器中已储存的基准供给电压和该电子元件的输入端子的端子电压为基准的电流，供给至该电子元件中；以及第1电流测定步骤，其对供给至该电子元件中的供给电流进行测定。