角速度感测器

摘要

本发明之角速度感测器可高精度且高灵敏度地检测围绕2个轴之角速度。本发明系于基板2之表面上设置有与基板2分离之驱动质量部4~7。驱动质量部4~7系配置在相对于中心点O呈点对称之位置。驱动质量部4~7系使用驱动梁8而连接于检测质量部15，并且使用连结梁9将驱动质量部4~7之支点4B~7B附近加以连结。检测质量部15系使用检测梁16、17而固定于基板2上之支持部3。而且，圆周方向上相邻之驱动质量部4~7系藉由振动产生部10~13而彼此以反相位进行振动。于该状态下，若施加角速度Ω1、Ω2，检测质量部15系以检测轴A、B为中心而于基板2之厚度方向上移位而振动。移位检测部18~21对检测质量部15之厚度方向之移位进行检测。

主权项

一种角速度感测器，其系藉由下述构件而构成：基板；4个驱动质量部，其与该基板保持间隙地相对向，且配置在相对于中心部呈点对称之位置；驱动梁，其在与上述基板平行之状态下以使上述各驱动质量部可围绕位于中心部侧之支点而振动之方式支持上述各驱动质量部；连结梁，其将上述4个驱动质量部之支点附近彼此加以连结；驱动机构，其设置于上述基板之中心部侧，且使上述4个驱动质量部以上述支点为中心而朝包围中心部之圆周方向振动；检测质量部，其使用上述驱动梁而连接于上述4个驱动质量部；检测梁，其设置于该检测质量部与上述基板之间，且以使该检测质量部可围绕与上述基板平行之2个轴而振动之方式支持该检测质量部；以及移位检测机构，其于上述检测质量部围绕2个轴而振动时，对上述检测质量部在上述基板之厚度方向上移位之情况进行检测。如请求项1之角速度感测器，其中上述4个驱动质量部系相对于包围上述中心部之圆周方向上彼此等间隔地配置，上述检测梁系设为位于相邻之2个驱动质量部之间而沿着上述2个轴延伸之构成。如请求项1或2之角速度感测器，其中上述移位检测机构系位于相邻之2个驱动质量部之间，配置在相对于中心部呈点对称之位置，且藉由与上述检测质量部相对向地设置之4个检测电极而构成。如请求项1或2之角速度感测器，其中上述检测质量部上设置有盖板，该盖板系与上述4个驱动质量部保持间隙地覆盖该检测质量部，上述移位检测机构系配置在相对于中心部呈点对称之位置，且藉由与该盖板相对向地设置之4个检测电极而构成。如请求项1或2之角速度感测器，其中上述检测质量部系构成为其全部或一部分之厚度尺寸比上述驱动质量部、驱动梁、连结梁、以及检测梁之厚度尺寸薄。如请求项1或2之角速度感测器，其中设置有对上述驱动质量部之振动方向之移位进行监视之监视机构。如请求项1或2之角速度感测器，其中上述检测梁系使用扭转支持梁而形成，该扭转支持梁于上述检测质量部在基板之厚度方向上移位时会产生扭转变形。如请求项7之角速度感测器，其中上述检测梁系构成为使用应力减小连接部而分别连接于上述检测质量部与基板，该应力减小连接部减小于扭转变形时作用于该检测梁之端部侧之应力。