| 摘要 |
<p>본 발명의 일실시예에 따른 하향식 셀레늄 크랙커는, 증착 챔버 내의 상부 영역에 하향식 셀레늄 크랙커를 설치하되 서셉터 위에 올려진 기판의 상부 영역에 상기 하향식 셀레늄 크랙커를 설치하여 상기 기판을 향해 셀레늄을 하방으로 낙하시킴으로써 상기 기판의 상부 표면에 증착 박막이 형성되도록 하는 하향식 셀레늄 크랙커에 있어서, 상기 셀레늄을 충전시키는 공간으로 그 공간에 충전된 상기 셀레늄을 승화시키는 도가니; 상기 도가니의 상부와 연통하여 상기 도가니 속에서 가열되어 승화된 상기 셀레늄을 하방으로 이동시키는 가스 이동구간; 상기 가스 이동구간의 하부에 설치되고 상기 가스 이동구간을 통해 공급된 상기 셀레늄을 열분해하는 가스 분해구간; 및 상기 도가니, 상기 가스 이동구간, 및 상기 가스 분해구간을 내장하는 하우징을 포함하되, 상기 하우징의 상부면에는 상기 가스 분해구간에서 열분해된 상기 셀레늄을 상기 기판으로 이송하기 위한 이송 가스를 주입하기 위한 가스 주입용 플랜지가 구비되고, 상기 하우징의 하부면에는 상기 이송 가스에 이송된 상기 셀레늄을 배출하기 위한 배출구가 구비되는 것을 특징으로 한다.</p> |
