| 发明名称 |
Membrane comprising metal nano-rod for thin membrane transducer, manufacturing method for the same, and thin membrane transducer using the same |
| 摘要 |
<p>박막 트랜스듀서용 멤브레인, 그 제조방법 및 이를 포함하는 박막 트랜스듀서가 제공된다. 본 발명에 따른 박막 트랜스듀서용 멤브레인은 절연막; 상기 절연막 상에 적층된 금속막; 및 상기 금속막 상에 형성된 금속 나노막대를 포함하며, 여기에서 상기 금속 나노막대는 상기 멤브레인의 수평면을 기준으로 수직 배향된 것을 특징으로 한다.</p> |
| 申请公布号 |
KR101213970(B1) |
申请公布日期 |
2012.12.20 |
| 申请号 |
KR20100089482 |
申请日期 |
2010.09.13 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
C12Q1/68;G01L9/12;G01N27/22 |
主分类号 |
C12Q1/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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