Reflexionsmindernde Hartmaskenzusammensetzung und Verfahren zur Herstellungeines strukturierten Materials damit

摘要

Eine reflexionsmindernde Hartmaskenzusammensetzungsschicht mit einem Polymer, das in seinem Rückgrat Si-O- und siliciumfreie anorganische Einheiten aufweist. Das Polymer enthält chromophore und transparente Molekülteile und eine Vernetzungskomponente. Die reflexionsmindernde Hartmaskenzusammensetzungsschicht wird in einem Verfahren zur Bildung eines strukturierten Materials auf einem Substrat verwendet.