| 摘要 |
<p>클록 도메인마다, 시험 신호의 위상을 실질적으로 동기시키는 시험 장치, 시험 방법을 제공한다. 복수의 클록 도메인을 가지는 피시험 디바이스를 시험하는 시험 장치에 있어서, 상기 피시험 디바이스의 동작 주기에 따른 시험 주기를 정하는 레이트 신호를 발생하는 주기 발생기와, 시험 패턴을 발생하는 패턴 발생기와, 상기 복수의 클록 도메인마다, 상기 클록 도메인에 포함되는 상기 피시험 디바이스의 어느 하나의 단자로부터 취득한 해당 클록 도메인에서의 동작 클록 신호를 입력받아, 상기 레이트 신호를 기준으로 한 상기 클록 도메인마다의 동작 클록 신호의 위상차를 검출하는, 상기 클록 도메인마다의 위상 비교부와, 상기 클록 도메인마다의 위상차에 따라, 상기 시험 패턴에 기초하는 시험 신호를 성형하여, 상기 클록 도메인마다의 동작 클록 신호와 실질적으로 동기시키는, 상기 클록 도메인마다의 파형 성형부를 포함한다.</p> |
