| 摘要 |
<p>본 발명은, 연마 공구가 배치된 공구 홀더 (3) 를 갖는 연마 장치 (1) 로서, 공구 홀더는 작업물 홀더 (5) 와 상호작용하고, 작업물 홀더 (5) 와 공구 홀더 (3) 는 제 1 방향 및 제 1 방향과는 다른 제 2 방향에서 서로에 대해 이동가능한 연마 장치 (1) 에 관한 것이다. 연마 프로세스의 적어도 일부를 재현가능하고 문서화가능하게 만드려고 노력한다. 이를 위해, 제 1 방향 (9) 과 제 2 방향 (10, 12) 에 수직한 제 3 방향 (20) 에서, 상기 공구 홀더 (3) 는 가요성이 있도록 이루어진다.</p> |
