| 摘要 |
Способ изготовления автоэмиссионных катодов в виде периодической многоострийной структуры, выполненных из монолитных углеродных материалов, включающий в себя очистку и полировку поверхности углеродной пластины, создания на ней с помощью метода фотолитографии микро-, наноразмерных дисков, окруженных каталитической пленкой металлов переходной группы, термохимическое травление углеродной пластины в среде водорода с образованием столбчатой структуры, отличающийся тем, что для увеличения плотности автоэмиссионного тока углеродную структуру с заданной высотой микроразмерных столбиков подвергают групповому микро-, наноразмерному заострению в низкотемпературной плазме ВЧ разряда в кислородной или в кислородно-инертной газовых средах. |
