发明名称 Method for microfabricating structures using silicon-on-insulator material
摘要
申请公布号 AU2009248425(B2) 申请公布日期 2012.12.20
申请号 AU20090248425 申请日期 2009.12.10
申请人 THE CHARLES STARK DRAPER LABORATORY, INC. 发明人 BORENSTEIN, JEFFREY T.;SAWYER, WILLIAM D.
分类号 B81C3/00;H01L21/46 主分类号 B81C3/00
代理机构 代理人
主权项
地址