Sputtering Apparatus

摘要

스퍼터링 장치가 개시된다. 챔버; 상기 챔버 내부의 일면에 결합되는 캐소드; 상기 챔버의 내부의 일면에 형성되는 펌핑포트; 및 상기 캐소드와 상기 펌핑포트 사이의 상기 챔버의 내부의 일면에 결합되며 유동홀이 형성되는 쉴드를 포함하는 스퍼터링 장치는, 펌핑포트와 인접한 쉴드 주변에 원활한 가스의 유동환경을 제공하여 파티클 발생 방지와 챔버의 원활한 배기를 기대할 수 있다.