发明名称 |
一种柔性薄膜太阳电池及其制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种柔性薄膜太阳电池及其制造方法,该薄膜太阳电池从下到上依次由聚亚酰胺、钼背电极、铜铟铝硒光吸收层、硫化锌缓冲层、氧化锌铝窗口层和镍铝顶电极构成。本发明还公开了一种柔性薄膜太阳电池的制备方法,包括:1)采用直流磁控溅射法在聚亚酰胺基底上沉积0.3~3.0μm的钼背电极;2)采用溅射硒化法在钼背电极上沉积0.5~5.0μm的铜铟铝硒薄膜;3)在铜铟铝硒薄膜上采用射频反应溅射法生长硫化锌薄膜;4)采用直流磁控溅射法在硫化锌薄膜上生长氧化锌铝薄膜;5)采用蒸发法掩膜沉积镍铝合金薄膜。本发明大大减少了稀贵金属和有毒元素的使用,具有结构及制造工艺简单、光电转化效率高且稳定性良好等优点。 |
申请公布号 |
CN102044577B |
申请公布日期 |
2012.12.19 |
申请号 |
CN201010549329.5 |
申请日期 |
2010.11.18 |
申请人 |
深圳丹邦投资集团有限公司 |
发明人 |
刘萍 |
分类号 |
H01L31/04(2006.01)I;H01L31/0256(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/04(2006.01)I |
代理机构 |
深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 |
代理人 |
江耀纯 |
主权项 |
一种柔性薄膜太阳电池,从下到上依次由基底、背电极、光吸收层、缓冲层、窗口层和顶电极构成,所述的缓冲层为硫化锌薄膜,其厚度为20~100nm,所述的窗口层为氧化锌铝薄膜,其厚度为0.2~5.0μm,所述的顶电极为镍铝合金薄膜,其厚度为0.2~5.0μm,其特征在于:所述基底为聚亚酰胺,其厚度为10~100μm,所述的光吸收层为铜铟铝硒薄膜,其厚度为0.5~5.0μm,所述背电极为钼膜,其厚度为0.3~3.0μm。 |
地址 |
518057 广东省深圳市高新技术产业园北区郎山一路8号 |