石墨烯纳米器件的制造

摘要

提供了一种纳米尺度石墨烯结构制造技术。在石墨烯层上形成用作掩模的氧化物纳米线，然后进行离子束蚀刻。在离子束蚀刻后，通过除去残余的氧化物纳米线而制造出纳米尺度的石墨烯结构。

主权项

一种制造石墨烯纳米结构的方法，所述方法包括：在石墨烯层上形成氧化物纳米结构；使所述氧化物纳米结构在石墨烯层上按预定方向排列；利用所述排列好的氧化物纳米结构作为掩模，实施各向异性蚀刻；和在所述各向异性蚀刻后，除去残余的氧化物纳米结构。