高效节能型多晶硅还原炉

摘要

一种高效节能型多晶硅还原炉，它包括支座（1）、带水夹套双管板（7）和由炉筒内壁（14）及炉筒外壁（16）组成的炉体，其特征是所述的炉筒内壁（14）上设有热反射涂层（17），在炉筒内壁（14）与炉筒外壁（16）之间安装有螺旋支撑板（19），炉筒外壁（16）下部设有冷却水进口（22），冷却水在炉筒内壁（14）与炉筒外壁（16）之间沿螺旋上升至炉体顶部的水汽出口（18）排出炉体外；所述的带水夹套双管板（7）中设有多圈电极套（12），电极（5）穿装在电极套（12）中，所述的带水夹套双管板（7）的内腔与进水及分配管（3）相连通；在所述的带水夹套双管板（7）的表面设有多圈原料气喷嘴（21），在带水夹套双管板（7）的中心连接有与炉体内腔相通的尾气排气管（26）和冷却水排水管（25）。本发明炉内温度均匀性好，节能效果显著。

主权项

一种高效节能型多晶硅还原炉，它包括支座（1）、带水夹套双管板（7）和由炉筒内壁（14）及炉筒外壁（16）组成的炉体，其特征是所述的炉体沿内壁或外壁设置冷却水夹套，即在炉筒内壁（14）与炉筒外壁（16）之间有螺旋支撑板的（19）冷却水夹套，炉筒法兰带有内冷却水夹套（23），带水夹套双管板（7）之间有径向折流板（28）和周向折流板（27）的形成的冷却水夹套；所述的炉筒内壁（14）上设有纳米级热反射涂层（17），所述的纳米级热反射涂层（17）厚度为50‑200µm,且涂层表面粗糙度小于0.2µm，材料为Cr及其合金、Ni及其合金、Ti及其合金、Ag及其合金、Au及其合金或氮化合金；在炉筒内壁（14）与炉筒外壁（16）之间安装有螺旋支撑板（19），炉筒外壁（16）下部设有冷却水进口（22），冷却水在炉筒内壁（14）与炉筒外壁（16）之间沿螺旋上升至炉体顶部的水汽出口（18）排出炉体外；所述的带水夹套双管板（7）中设有多圈电极套（12），电极（5）穿装在电极套（12）中，电极（5）的上端伸入炉体中用于插装硅芯棒（15），电极（5）的下端安装有冷却水套，冷却水套的进水口（4）通过管道与冷却水源相连，冷却水套的出水口（6）通过管道与排水口相连；所述的带水夹套双管板（7）的内腔与进水及分配管（3）相连通；在所述的带水夹套双管板（7）的表面设有多圈原料气喷嘴（21），在带水夹套双管板（7）下方安装有进气环管及分配管（2），原料气喷嘴（21）安装在进气环管及分配管（2）中的分配管的上端，该分配管的上端穿过带水夹套双管板（7）内部的水路与炉体内腔相通；在带水夹套双管板（7）的中心连接有与炉体内腔相通的尾气排气管（26），尾气排气管（26）套装在冷却水排水管（25）中，冷却水排水管（25）的进水端与带水夹套双管板（7）内腔相通以便将内腔中的冷却水排出。