薄膜形成用旋转系统

摘要

本发明揭露一种用于形成一或更多材料层于一或更多基板上的系统。此系统包含一可绕一承载座轴旋转的承载座(susceptor)。一或更多载台齿轮(holder gear)位于承载座上。载台齿轮可以承载座轴绕承载座旋转。当载台齿轮绕承载座轴旋转，一与载台齿轮接合的齿轮可使载台齿轮绕个别载台齿轮的载台轴转动。承载座与齿轮可各自独立旋转。

主权项

一种用于将一或更多材料层形成于一或更多基板上的系统，包含：一承载座，该承载座可绕一中央承载座轴旋转；位于该承载座上的一或更多载台齿轮，其中，该载台齿轮可以所述中央承载座轴绕所述承载座旋转；及与所述载台齿轮啮合的一中央齿轮，其中，该中央齿轮可在所述载台齿轮所述中央承载座轴旋转时，使所述载台齿轮绕个别所述载台齿轮的载台轴旋转；其中，所述承载座与所述中央齿轮可各自独立旋转。