| 发明名称 | 一种具有湿度敏感特性的无铅压电材料 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种具有湿度敏感特性的无铅压电材料，其特征是将成分为Lix(K0.48Na0.52)1-x(Nb1-yTay)O3(x范围从0～0.1，y范围从0～0.2)铌酸钾钠基陶瓷靶溅射沉积到单晶(硅、蓝宝石、二氧化钛等)或玻璃衬底表面，形成厚度为50～500纳米的薄膜。该成分的铌酸钾钠基无铅压电材料具有湿度敏感特性，在低频下，电学参量(电容、阻抗等)与相对湿度具有较好的线性关系，且吸湿、脱湿响应速度快，可以用于制备湿敏元件，环境友好，结构简单，生产工艺简单，成品率高，具有广阔的应用前景。 | ||
| 申请公布号 | CN102826761A | 申请公布日期 | 2012.12.19 |
| 申请号 | CN201110163323.9 | 申请日期 | 2011.06.17 |
| 申请人 | 中国石油大学(华东) | 发明人 | 甄玉花;王萌萌;王盛;薛庆忠 |
| 分类号 | C03C17/22(2006.01)I;C04B41/50(2006.01)I | 主分类号 | C03C17/22(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种具有湿度敏感效应的无铅压电薄膜材料，其特征是在厚度为0.3～1.0毫米的单晶或玻璃衬底上，形成一层厚度为50～500纳米的铌酸钾钠基无铅压电薄膜材料，该薄膜为化学计量成分为Lix(K0.48Na0.52)1‑x(Nb1‑yTay)O3(x范围从0～0.1，y范围从0～0.2)的烧结块体靶低温磁控溅射形成。 | ||
| 地址 | 257061 山东省东营市东营区北二路271号 | ||