| 发明名称 | 含有脂环族环氧基的固化性树脂组合物、其制造方法及其固化物 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种固化性树脂组合物，其在提高制备抗蚀剂组合物时的溶解性以及稳定性的同时，使得抗蚀剂成膜时的膜厚均匀性、线宽均匀性、显影时的抗蚀剂膜的密合性等特性得到提高，且使其安全性得以提高。所述固化性树脂组合物包含共聚物和溶剂，所述共聚物含有：(A)含有脂环族环氧基的聚合性不饱和化合物所对应的单体单元、以及(B)含有碱可溶性基团的单体单元，所述溶剂含有占全部溶剂中的30~100质量%的二丙二醇二甲醚。 | ||
| 申请公布号 | CN102827323A | 申请公布日期 | 2012.12.19 |
| 申请号 | CN201210195831.X | 申请日期 | 2012.06.14 |
| 申请人 | 株式会社大赛璐 | 发明人 | 寺西直史;中川泰伸;赤井泰之 |
| 分类号 | C08F220/32(2006.01)I;C08F220/06(2006.01)I;C08F220/18(2006.01)I;C08F2/06(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;C09D133/14(2006.01)I;C09J133/14(2006.01)I | 主分类号 | C08F220/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 张永新 |
| 主权项 | 固化性树脂组合物，其包含共聚物和溶剂，所述共聚物含有(A)含有脂环族环氧基的聚合性不饱和化合物所对应的单体单元、以及(B)含有碱可溶性基团的单体单元，所述溶剂含有占全部溶剂中的30~100质量%的二丙二醇二甲醚。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||