发明名称 | 硅棒清洗装置 | ||
摘要 | 本实用新型涉及一种硅棒清洗装置,包括清洗槽体,所述的槽体的底部内壁上设置有硅棒支撑装置,所述的支撑装置包括导轨以及设置在导轨上两个滑块,所述的两个滑块之间的距离小于等于硅棒的长度。该装置结构简单,使用方便,能使硅棒被清洗液包围的表面积尽可能最大,同时硅棒表面不会出现凸点,降低了后续切片过程的碎片率,从而降低生产成本。 | ||
申请公布号 | CN202610398U | 申请公布日期 | 2012.12.19 |
申请号 | CN201220201733.8 | 申请日期 | 2012.05.07 |
申请人 | 常州顺风光电材料有限公司 | 发明人 | 肖贵云;王传凯;刘富林;岳维维 |
分类号 | C30B33/10(2006.01)I | 主分类号 | C30B33/10(2006.01)I |
代理机构 | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人 | 路接洲 |
主权项 | 一种硅棒清洗装置,包括清洗槽体,其特征在于:所述的槽体的底部内壁上设置有硅棒支撑装置,所述的支撑装置包括导轨以及设置在导轨上两个滑块,所述的两个滑块之间的距离小于等于硅棒的长度。 | ||
地址 | 213164 江苏省常州市武进区高新技术产业开发区新典路8号 |