| 发明名称 | 对用于柔性衬底的腔室入口或腔室出口进行密封的装置、衬底处理设备及组装该装置的方法 | ||
| 摘要 | 本公开涉及一种对用于柔性衬底(16)的腔室入口(18)或腔室出口进行密封的装置(100)，该装置包括：具有密封表面(108)的本体(104)；形成在本体中的衬底开口(106)，其被构造为由柔性衬底横越；至少部分面向密封表面的弹性管(116)，其中弹性管具有用于连接气体供应源(136)的连接部并且适合于在工作期间进行充气和抽气。此外，本公开涉及一种用于组装对柔性衬底(16)的腔室入口或腔室出口进行密封的装置的方法，包括以下步骤：提供具有密封表面(108)的本体(104)，其中衬底开口(106)形成在本体中并被构造为由柔性衬底横越；将弹性管(116)插入本体中，使得弹性管(116)至少部分面对密封表面(108)，弹性管具有连接部并且适合于在工作期间进行充气和抽气；以及将弹性管的连接部连接到气体供应源(136)。 | ||
| 申请公布号 | CN102834544A | 申请公布日期 | 2012.12.19 |
| 申请号 | CN201180018024.4 | 申请日期 | 2011.03.22 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 卡尔-海因里希·温克;沃克尔·海克 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I;B29C37/00(2006.01)I;F16K7/10(2006.01)I;H01J37/18(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人 | 柳春雷 |
| 主权项 | 一种对用于柔性衬底(16)的腔室入口(18)或腔室出口进行密封的装置(100)，所述装置包括：本体(104)，其具有密封表面(108)，形成在所述本体中的衬底开口(106)，其被构造为由所述柔性衬底横越，弹性管(116)，其至少部分地面向所述密封表面，其中所述弹性管具有连接部，用于连接气体供应源(136)并且适合于在工作期间进行充气和抽气。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||