一种纳米光学多参数测量平台

摘要

本发明涉及反应堆工程技术领域，本发明公开了一种纳米光子多参数测量平台，其包括多参数可变激发系统、样品位置方向微调单元、显微观测对准系统、扫描近场光学显微镜探测系统和计算机，所述样品位置方向微调单元用于安装待测样品，所述多参数可变激发系统为待测样品提供照明激发光源信号，所述显微观测对准系统调节待测样品的成像区域并采集待测样品的图像信息发送给计算机进行显示，所述扫描近场光学显微镜探测系统采集待测样品的光学近场信息并发送给计算机，所述计算机将光学近场信息进行处理后显示。本发明结构紧凑、可实现多自由度调节，能够实现对纳米光子学器件的给定激发区域进行激发波长可变、入射角度连续可调、偏振状态可控的光激励。

主权项

一种纳米光子多参数测量平台，其特征在于，包括多参数可变激发系统、样品位置方向微调单元、显微观测对准系统、扫描近场光学显微镜探测系统和计算机，所述样品位置方向微调单元用于安装待测样品，所述多参数可变激发系统为待测样品提供照明激发光源信号，所述显微观测对准系统调节待测样品的成像区域并采集待测样品的图像信息发送给计算机进行显示，所述扫描近场光学显微镜探测系统采集待测样品的光学近场信息并发送给计算机，所述计算机将光学近场信息进行处理后显示。