主动元件阵列基板及其制造方法

摘要

一种主动元件阵列基板及其制造方法，该主动元件阵列基板包含软质基板、栅极、介电层、通道层、源极、漏极与像素电极。软质基板上定义有晶体管区与透光区。晶体管区与透光区相毗邻。栅极位于晶体管区的软质基板上。介电层覆盖栅极与软质基板。位于栅极上方的部分介电层具有第一厚度。位于透光区的软质基板上的部分介电层具有第二厚度。第二厚度小于第一厚度。通道层、源极与漏极均位于晶体管区的介电层上。通道层位于栅极的上方。源极与漏极位于通道层两侧且分别电性连接通道层。像素电极位于透光区的介电层上。此像素电极电性连接漏极。

主权项

一种主动元件阵列基板，其特征在于，包含：一软质基板，该软质基板上定义有至少一晶体管区与至少一透光区，该晶体管区与该透光区相毗邻；一栅极，位于该晶体管区的该软质基板上；一介电层，覆盖该栅极与该软质基板，位于该栅极上方的部分该介电层具有一第一厚度，位于该透光区的该软质基板上的部分该介电层具有一第二厚度，其中该第二厚度小于该第一厚度；一通道层、一源极与一漏极，位于该晶体管区的该介电层上，该通道层位于该栅极的上方，该源极与该漏极位于该通道层两侧且分别电性连接该通道层；以及一像素电极，位于该透光区的该介电层上，该像素电极电性连接该漏极。