具高功率脉冲电源供应器的磁控溅镀机

摘要

本实用新型是有关于一种具高功率脉冲电源供应器的磁控溅镀机，其至少包括：一真空腔体及至少一磁控溅镀枪。真空腔体为一拱形真空腔体，而磁控溅镀枪设置于真空腔体的至少一侧，并且磁控溅镀枪的电源输入端电性连接于高功率脉冲电源供应器。借由本实用新型的实施，可以使磁控溅镀机能够溅镀多种造型及尺寸的被镀对象，并可采用高功率脉冲磁控溅镀工艺以改善镀膜质量。

主权项

一种具高功率脉冲电源供应器的磁控溅镀机,其特征在于其至少包括一真空腔体及至少一磁控溅镀枪，该磁控溅镀枪设置于该真空腔体的至少一侧，其特征为：该真空腔体为一拱形真空腔体且其具有一拱形门体，又该磁控溅镀枪的电源输入端是电性连接一高功率脉冲电源供应器，且该高功率脉冲电源供应器的操作电压是介于100伏特至2000伏特之间。