部件高度测量方法及其装置

摘要

本发明提供一种部件高度测量方法及其装置，其以如下方式测量部件的高度，从垂直于在载置面上载置被测量部件并能够沿被测量部件的高度方向移动的台的载置面的方向，经由物镜向载置于载置面上的被测量部件投影光图案，使台沿被测量部件的高度方向依次步进移动，按照各步进移动，经由物镜对投影有光图案的被测量部件进行拍摄，并获取光图案的图像，对按照台的各步进移动进行拍摄而获取的光图案的多个图像进行处理，获得被测量部件的各部分的高度信息，生成被测量部件的高度图像或包含高度信息的图像。

主权项

一种部件高度测量方法，其特征在于，从垂直于在载置面上载置被测量部件并能够沿该被测量部件的高度方向移动的台的上述载置面的方向，经由物镜向载置于该载置面上的上述被测量部件投影光图案，使上述台沿上述被测量部件的高度方向依次步进移动，按照各步进移动，经由上述物镜对投影有上述光图案的上述被测量部件进行拍摄，获取上述光图案的图像，对按照上述台的各步进移动进行拍摄而获取的上述光图案的多个图像进行处理，获得上述被测量部件的各部分的高度信息，生成上述被测量部件的高度图像或包含高度信息的图像。