一种基体表面的超厚CrSiBN复合涂层及其制备方法

摘要

本发明提供了一种基体表面的超厚CrSiBN复合涂层以及采用磁过滤多弧离子镀和磁控溅射一体化装备制备该超厚CrSiBN复合涂层的方法。该超厚CrSiBN复合涂层由自基体表面起依次镀覆的Cr过渡层、CrN支撑层以及CrSiBN抗磨润滑层组成，其中，CrSiBN抗磨润滑层中Si含量为0.5~30%，B含量为0.5~20%。与现有的基体表面的CrN涂层相比，该复合涂层的厚度能够达到20~40μm，具有高硬度、高耐磨、高热稳定性、高耐蚀和抗接触疲劳特性特性，对高载荷和高热负荷发动机活塞环、盘片抛光装备中的大尺寸齿轮等基体更加具有强化与耐蚀防护作用，具有良好的应用价值。

主权项

一种基体表面的超厚CrSiBN复合涂层，其特征是：该超厚CrSiBN复合涂层是由自基体表面起依次镀覆的Cr过渡层、CrN支撑层以及CrSiBN抗磨润滑层组成，其中，CrSiBN抗磨润滑层中Si含量为0.5~30%，B含量为0.5~20%。