扫描显微镜和用于光显微成像物体的方法

摘要

扫描显微镜（100，200，300，400，500）包括用于发射照明光束（12）的光源（20，61，64），用于在待成像的物体（36）中产生长形的照明焦点（16，84）的照明光学器件（10），和扫描装置（33），用于通过改变入射方向使照明焦点（16，84）在待成像的物体（36）的待照明的目标区域上运动，照明光束（12）在该入射方向上射到照明光学器件（10）的入射光瞳（14）上。扫描装置（33）为了使照明焦点（16，84）相对照明光学器件（10）的光轴（O1）斜置使照明光束（12）定向在照明光学器件（10）的入射光瞳（14）的从光瞳中心偏移出的部分区域上并且为了使照明焦点（16，84）在待照明的目标区域上运动使照明光束（36）的入射方向在该部分区域中改变。设有一个与照明光学器件（10）在空间上分开的观察物镜（38），该观察物镜以其光轴（O3）基本上垂直于被照明的目标区域地及相对照明光学器件（10）的光轴（O1）成一锐角（α）地设置。

主权项

扫描显微镜（100，200，300，400，500），具有：用于发射照明光束（12）的光源（20，61，64），用于在待成像的物体（36）中产生长形的照明焦点（16，84）的照明光学器件（10），和扫描装置（33），用于使照明焦点（16，84）在待成像的物体（36）的待照明的目标区域上通过改变入射方向而运动，照明光束（12）在该入射方向上射到照明光学器件（10）的入射光瞳（14）上，其特征在于，扫描装置（33）为了使照明焦点（16，84）相对照明光学器件（10）的光轴（O1）斜置使照明光束（12）定向在照明光学器件（10）的入射光瞳（14）的从光瞳中心偏移出的部分区域上并且为了使照明焦点（16，84）在待照明的目标区域上运动使照明光束（12）的入射方向在该部分区域中改变，并且设有一个与照明光学器件（10）在空间上分开的观察物镜（38），该观察物镜被设置成其光轴（O3）基本上垂直于被照明的目标区域且相对照明光学器件（10）的光轴（O1）成一锐角（α）。