发明名称 | 用于提拉单晶的装置 | ||
摘要 | 本发明涉及一种用于从熔体中提拉单晶的装置,所述单晶在上颈部和下颈部之间具有加宽部。装置包括具有用于缠绕提拉缆线的缆线鼓的提拉装置以及用于对单晶上颈部的重量减载的支承装置。支承装置包括支承环,所述支承环具有开口并且具有固定在支承环上的抓持夹具,所述抓持夹具互相相对并且可以关于所述轴承轴枢转,其中所述抓持夹具可以从等待位置执行双向枢转运动进入保持位置中,在保持位置中抓持夹具延伸到所述开口中并且在所述加宽部下面;缆线鼓,所述缆线鼓在所述抓持夹具的轴承轴的两侧上用于缠绕承载缆线和固定在所述抓持夹具上的辅助缆线;并且用于改变所述辅助缆线的缆线路径的辅助辊,由此所述抓持夹具可以作枢转运动。 | ||
申请公布号 | CN101676440B | 申请公布日期 | 2012.12.19 |
申请号 | CN200910170455.7 | 申请日期 | 2009.08.26 |
申请人 | 硅电子股份公司 | 发明人 | A·米厄;A·米勒;J-A·胡贝尔 |
分类号 | C30B15/30(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/30(2006.01)I |
代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 蔡胜利 |
主权项 | 一种用于从熔体提拉单晶的装置,其中所述单晶具有位于上颈部与下颈部之间的加宽部,所述装置包括:提拉装置,所述提拉装置用于提拉所述单晶、并包含用于缠绕提拉缆线的缆线鼓;以及支承装置,所述支承装置用于对所述单晶的重量的所述上颈部减载,所述支承装置包括:支承环,所述支承环包含开口以及抓持夹具,所述抓持夹具在所述支承环上被紧固以使得所述抓持夹具彼此相对并可以绕一轴承的轴线枢转,所述抓持夹具可以实现从等待位置到保持位置的可逆的枢转运动,在所述保持位置中,所述抓持夹具延伸到所述开口中并且在所述加宽部下方;缆线鼓,所述缆线鼓用于缠绕承载缆线和辅助缆线,所述承载缆线和辅助缆线在所述抓持夹具的轴承的轴线的两侧上被紧固在所述抓持夹具上,其中,共用的缆线鼓设置用于缠绕紧固在同一抓持夹具上的承载缆线和辅助缆线;一用于缠绕所述承载缆线和所述辅助缆线的所述缆线鼓的共用的驱动器;以及用于移动到所述辅助缆线的缆线路径的辅助辊,由此实现所述抓持夹具的枢转运动。 | ||
地址 | 德国慕尼黑 |