均温型多晶硅还原炉

摘要

一种均温型多晶硅还原炉，它包括支座（1）、水夹套管板（10）和炉体（33），水夹套管板（10）安装在支座（1）上，炉体（33）通过法兰安装在水夹套管板（10），其特征是所述的炉体（33）由炉筒内壁（18）和弧形炉外筒（19）及球形炉外筒（20）组成，所述的炉筒内壁（18）面对炉腔的一面上设有热反射涂层；在炉筒内壁（18）与弧形炉外筒（19）之间、炉筒内壁（18）与球形炉外筒（20）之间均安装有螺旋布置的支撑板（24），弧形炉外筒（19）下部设有对筒体（33）进行冷却的冷却水进出口（26），冷却水在炉筒内壁（18）与弧形炉外筒（19）及球形炉外筒（20）之间沿螺旋上升至炉体顶部设置的汽出口（23）排出炉体（33）外，电极套（12）与水夹套管板（10）的连接设置丝网或半圆管毛细管冷却元件（36），原料气喷嘴（32）和尾气出气管（5）的炉体内腔出口处设置多孔或网格状过滤罩子（37）。本发明炉型大，厚管板冷却效果好，炉内速度场、温度场均匀，节能效果显著。

主权项

一种均温型多晶硅还原炉，它包括支座（1）、水夹套管板（10）和炉体（33），水夹套管板（10）安装在支座（1）上，炉体（33）通过法兰安装在水夹套管板（10），其特征是所述的炉体（33）由炉筒内壁（18）和弧形炉外筒（19）及球形炉外筒（20）组成，所述的炉筒内壁（18）面对炉腔的一面内壁进行渗氮氮化处理，并设热反射涂层；在炉筒内壁（18）与弧形炉外筒（19）之间、炉筒内壁（18）与球形炉外筒（20）之间均安装有螺旋布置的支撑板（24），弧形炉外筒（19）下部设有对筒体（33）进行冷却的冷却水进口（26），冷却水在炉筒内壁（18）与弧形炉外筒（19）及球形炉外筒（20）之间沿螺旋上升至炉体顶部设置的汽出口（23）排出炉体（33）外；所述的水夹套管板（10）中设有多圈电极套（12），所述的多圈电极套（12）与水夹套管板（10）的连接处设置有丝网或半圆管毛细管冷却元件（36）, 半圆管孔径为1‑5mm, 丝网孔径为1‑5mm，电极座（15）穿装在电极套（12）中，电极座（15）的上端伸入炉体中用于插装硅芯棒（17），电极座（15）的下端穿过电极套（12）与电极（8）相连，电极套（12）的内部安装有冷却水夹套（7），冷却水夹套（7）的进水口（6）通过管道与冷却水源相连，冷却水夹套（7）的出水口（9）通过管道与排水口相连；所述的水夹套管板（10）的内腔通过进水管（35）送入冷却水；在所述的水夹套管板（10）上安装有多圈原料气喷嘴（32），原料气喷嘴（32）与进气分配管（3）的一端相连通，进气分配管（3）的另一端与原料进气环管（2）相连通；在水夹套管板（10）的外圈和中心分别连接有与炉体（33）的内腔相通的尾气出气管（5），尾气出气管（5）与尾气出气环管（4）相连通；冷却水出水管（30）与冷却水夹套环管（28）相连，冷却水夹套环管（28）通过冷却水夹套（7）与水夹套管板（10）内腔相通以便将其中的冷却水排出。