发明名称 一种FeSe超导薄膜的制备方法
摘要 本发明提供了一种FeSe超导薄膜的制备方法,包括以下步骤:一、将铁板材的表面加工平整并清洗干净后,放置在高温管式炉的中部;二、将硒粉置于高温管式炉中靠近进气口一端;三、向高温管式炉中通入氩气将炉内空气排除,然后调节氩气流量并进行加热,使硒粉蒸发为气相Se,随氩气的流动实现气相Se的输运并沉积于铁板材表面;四、将硒粉取出,将铁板材进行退火处理,最终得到FeSe超导薄膜。本发明制备工艺简单易控,工艺流程短,可重复性强,适于工业化大规模生产;采用本发明制备的FeSe超导薄膜表面平整,晶间连接性好,四方相含量高,具有优良的超导性能。
申请公布号 CN102828162A 申请公布日期 2012.12.19
申请号 CN201210316109.7 申请日期 2012.08.30
申请人 西北有色金属研究院 发明人 张胜楠;李成山;白利锋
分类号 C23C16/30(2006.01)I;C23C16/448(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;H01L39/24(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I 主分类号 C23C16/30(2006.01)I
代理机构 西安创知专利事务所 61213 代理人 谭文琰
主权项 一种FeSe超导薄膜的制备方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:步骤一、将铁板材的表面加工平整,依次采用盐酸溶液、无水乙醇和丙酮清洗干净后,放置在高温管式炉的中部;步骤二、将盛有硒粉的坩埚放置在高温管式炉中靠近进气口的一端,并距离铁板材5cm~30cm;步骤三、向高温管式炉中通入氩气,先在氩气流量为1L/h~40L/h的条件下将炉内空气排除,然后在氩气流量为0.01L/h~1L/h的条件下将炉内温度升至400℃~800℃后保温10min~180min,使硒粉加热蒸发为气相Se,气相Se随氩气的流动进行定向输运并沉积于铁板材表面;步骤四、将高温管式炉中盛有硒粉的坩埚取出,同时停止通入氩气,将步骤三中沉积有气相Se的铁板材在温度为600℃~1100℃的条件下进行退火处理0.5h~1.0h,自然冷却后在铁板材的表面得到FeSe超导薄膜。
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