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发明名称
摘要
申请公布号 JP5103904(B2) 申请公布日期 2012.12.19
申请号 JP20060537763 申请日期 2005.09.28
申请人 发明人
分类号 C08F220/10;C08F228/02;G03F7/11;H01L21/027 主分类号 C08F220/10
代理机构 代理人
主权项
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