发明名称 | 喷淋清洗槽 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种喷淋清洗槽,包括槽体,所述槽体设置有容腔;其特征在于,还包括:第一支架,所述第一支架可移动地设置于容腔内;夹具,所述夹具用于夹持待洗工件,夹具可转动地设置于第一支架上;喷淋管,所述喷淋管设置有朝向待洗工件的喷液口。本实用新型中的喷淋清洗槽可利用夹具夹持待洗工件旋转,而且夹具和喷淋管可分别独立地相对运动,喷淋水可清洗待洗工件的各个位置。本实用新型一次可夹持两个待洗工件清洗,工作效率高。而且,本实用新型使用时可先将待洗工件夹持在夹具上,再将夹具安装于转轴上,使用更方便。 | ||
申请公布号 | CN202606430U | 申请公布日期 | 2012.12.19 |
申请号 | CN201120571192.3 | 申请日期 | 2011.12.31 |
申请人 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 发明人 | 王振荣;刘红兵;黄利松 |
分类号 | B08B3/02(2006.01)I | 主分类号 | B08B3/02(2006.01)I |
代理机构 | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人 | 李强 |
主权项 | 喷淋清洗槽,包括槽体,所述槽体设置有容腔;其特征在于,还包括:第一支架,所述第一支架可移动地设置于容腔内;夹具,所述夹具用于夹持待洗工件,夹具可转动地设置于第一支架上;喷淋管,所述喷淋管设置有朝向夹具的喷液口。 | ||
地址 | 201616 上海市松江区文合路1268号 |