发明名称 喷淋清洗槽
摘要 本实用新型公开了一种喷淋清洗槽,包括槽体,所述槽体设置有容腔;其特征在于,还包括:第一支架,所述第一支架可移动地设置于容腔内;夹具,所述夹具用于夹持待洗工件,夹具可转动地设置于第一支架上;喷淋管,所述喷淋管设置有朝向待洗工件的喷液口。本实用新型中的喷淋清洗槽可利用夹具夹持待洗工件旋转,而且夹具和喷淋管可分别独立地相对运动,喷淋水可清洗待洗工件的各个位置。本实用新型一次可夹持两个待洗工件清洗,工作效率高。而且,本实用新型使用时可先将待洗工件夹持在夹具上,再将夹具安装于转轴上,使用更方便。
申请公布号 CN202606430U 申请公布日期 2012.12.19
申请号 CN201120571192.3 申请日期 2011.12.31
申请人 上海新阳半导体材料股份有限公司 发明人 王振荣;刘红兵;黄利松
分类号 B08B3/02(2006.01)I 主分类号 B08B3/02(2006.01)I
代理机构 上海脱颖律师事务所 31259 代理人 李强
主权项 喷淋清洗槽,包括槽体,所述槽体设置有容腔;其特征在于,还包括:第一支架,所述第一支架可移动地设置于容腔内;夹具,所述夹具用于夹持待洗工件,夹具可转动地设置于第一支架上;喷淋管,所述喷淋管设置有朝向夹具的喷液口。
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