一种双极性高压脉冲发生装置及相对应的处理系统

摘要

本发明涉及一种双极性高压脉冲发生装置及相对应的处理系统，属于高压脉冲功率技术领域该脉冲发生装置包括高压直流电源、两个电容放电单元和两个火花间隙开关，两个电容发电单元串联后并接在高压直流电源两端，两个火花间隙开关串联后与两个电容放电单元并联，两个电容放电单元之间的节点用于连接处理室装置的一端，两个火花间隙开关之间的节点用于连接处理室装置的另一端，两个火花间隙开关上设置有驱动装置，在该驱动装置的作用下两个火花间隙开关能够交替开关和闭合。本发明通过利用两个机械旋转火花间隙开关的交替导通和关断，使装置输出双极性高压脉冲，本发明的双极性高压脉冲发生装置结构简单、价格便宜，且能够调节输出的高压脉冲频率。

主权项

一种双极性高压脉冲发生装置，其特征在于：该脉冲发生装置包括高压直流电源、两个电容放电单元和两个火花间隙开关，两个电容发电单元串联后并接在高压直流电源两端，两个火花间隙开关串联后与两个电容放电单元并联， 两个电容放电单元之间的节点用于连接处理室装置的一端，两个火花间隙开关之间的节点用于连接处理室装置的另一端，两个火花间隙开关上设置有驱动装置，在该驱动装置的作用下两个火花间隙开关能够交替开关和闭合。