发明名称 一种低损伤高钝化的太阳能电池
摘要 本实用新型涉及一种低损伤高钝化的太阳能电池,具有太阳能电池硅片,所述的太阳能电池硅片正面具有厚度为5~20nm的SiO2薄膜层,所述的SiO2薄膜层正面具有厚度为30~50nm折射率为2.3~2.7的第一氮化硅薄膜层,所述的第一氮化硅薄膜层正面具有厚度为35~50nm折射率为1.8~2.0的第二氮化硅薄膜层。本实用新型提高了电池片的钝化效果,减弱了PECVD对晶体硅表面损伤,降低对太阳波长的反射,提高对光的吸收率,从而提高电池效率。
申请公布号 CN202616239U 申请公布日期 2012.12.19
申请号 CN201220067527.2 申请日期 2012.02.28
申请人 常州天合光能有限公司 发明人 张勇
分类号 H01L31/0216(2006.01)I 主分类号 H01L31/0216(2006.01)I
代理机构 常州市维益专利事务所 32211 代理人 王凌霄
主权项 一种低损伤高钝化的太阳能电池,其特征在于:具有太阳能电池硅片(1),所述的太阳能电池硅片(1)正面具有厚度为5~20nm的SiO2薄膜层(2),所述的SiO2薄膜层(2)正面具有厚度为30~50nm折射率为2.3~2.7的第一氮化硅薄膜层(3),所述的第一氮化硅薄膜层(3)正面具有厚度为35~50nm折射率为1.8~2.0的第二氮化硅薄膜层(4)。
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