发明名称 Thin-box metal backgate extremely thin SOI device
摘要
申请公布号 GB2488961(B) 申请公布日期 2012.12.19
申请号 GB20120013197 申请日期 2011.03.08
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 KEVIN K CHAN;ZHIBIN REN;XINHUI WANG
分类号 H01L29/786;H01L21/762;H01L29/66 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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