发明名称 大气压低温等离子体电刷发生装置及其阵列组合
摘要 本发明公开了一种大气压低温等离子体电刷发生装置及其阵列组合,以解决现有技术中大气压等离子体发生装置工作时产生的等离子体气流温度较高,需额外配置冷却系统而导致难以在实际工业应用的问题。其结构包括主体腔室和两个电极,主体腔室具有进气端口和出气端口,所述出气端口为窄缝状,主体腔室内靠近该出气端口的部分自然形成窄缝腔体,所述两个电极的放电端位于所述窄缝腔体处。本发明大气压低温等离子体电刷发生装置可以在常压下产生等离子体;其结构设计具有多样性,且成本低廉,操作安全方便,采用本发明等离子体电刷发生装置在处理大面积或复杂外形结构的物品时,要比传统的低压等离子体发生设备简单的多。
申请公布号 CN102065626B 申请公布日期 2012.12.19
申请号 CN201110024536.3 申请日期 2011.01.21
申请人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明人 段忆翔;赵卫;汤洁
分类号 H05H1/30(2006.01)I 主分类号 H05H1/30(2006.01)I
代理机构 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人 徐平
主权项 一种大气压低温等离子体电刷发生装置,包括主体腔室和两个电极,主体腔室具有进气端口和出气端口,其特征在于:所述出气端口为窄缝状,主体腔室内靠近该出气端口的部分形成窄缝腔体,所述两个电极的放电端位于所述窄缝腔体处;为两个电极提供放电电压的电源为直流电源,电源模式为连续或脉冲形式;所述电极为钨、镍、钽、铂或其合金制成的电极,两个电极相互正对的放电端面为平面。
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