发明名称 |
在硅片上复合In<sub>2</sub>O<sub>3</sub>多角分层塔状纳米结构的半导体材料及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种在硅片上复合In2O3多角分层塔状纳米结构的半导体材料及其制备方法,其材料包括衬底,该衬底采用硅片,其衬底表面生长有In2O3晶体;所述的In2O3晶体具有4~6个角,相邻角顶点之间的距离为17~19μm,每个角的长度为8~10μm;制备方法是以In颗粒作为原料,利用热蒸发方法生长得到In2O3多角分层塔状纳米结构。本发明具有成本低,生长温度低,重复性高等优点,可结合目前成熟的半导体硅集成电路工艺,适合于集成纳米光电子器件的发展。 |
申请公布号 |
CN102211949B |
申请公布日期 |
2012.12.19 |
申请号 |
CN201010145341.X |
申请日期 |
2010.04.12 |
申请人 |
华东师范大学 |
发明人 |
黄雁君;郁可;李立珺;蒋雯陶;倪娟;徐哲;汪阳;朱自强 |
分类号 |
C04B41/50(2006.01)I |
主分类号 |
C04B41/50(2006.01)I |
代理机构 |
上海麦其知识产权代理事务所(普通合伙) 31257 |
代理人 |
董红曼 |
主权项 |
一种在硅片上复合In2O3多角分层塔状纳米结构的半导体材料,其特征在于,包括硅片衬底,和生长在所述衬底表面的In2O3晶体;所述In2O3晶体为多角分层塔状纳米结构;其中,所述In2O3晶体具有4~6个角,相邻角顶点之间的距离为17~19μm,每个角的长度为8~10μm。 |
地址 |
200062 上海市普陀区中山北路3663号 |