Plasma system

摘要

표면을 플라즈마 처리하는 공정에서, 비평형 대기압 플라즈마는 유입구 및 유출구를 갖고 있고 공정 기체가 유입구로부터 유출구로 유동하는 유전체 하우징 내에서 생성된다. 적어도 일부가 유전체 재료로 형성된 튜브는 하우징의 유출구로부터 외부로 연장되어, 튜브의 말단이 플라즈마 유출구를 형성한다. 처리될 표면은 플라즈마와 접촉되도록 플라즈마 유출구에 인접하게 배치되어 플라즈마 유출구에 따라 이동된다.