| 摘要 |
<p>[과제] 레이저광의 장축 방향의 이음매부에서 결정의 균일성을 손상시키지 않고, 이음매부가 육안으로 확인할 수 없을 정도로 양호하고 균일성이 높은 결정성 반도체 박막을 기판 전체 면에 형성할 수 있는 레이저 어닐링 방법 및 장치를 제공한다. [해결 수단] 선형 빔의 조사 중, 레이저광(2)의 광로상에 배치된 마스크(10)에 의해 선형 빔의 단부에 대응하는 부분을 차폐하고, 차폐량이 주기적으로 증감되도록 마스크(10)를 동작시킨다.</p> |
