| 摘要 |
<p>본 발명은 자기유변유체(Magneto-rheological fluid)를 이용하여 3차원 구조물 패턴의 균일가공이 가능한 연마장치 및 방법에 관한 것으로서, 전자석의 N극과 S극 사이에 피가공물의 가공을 위한 가공영역을 형성하고, 상기 전자석을 회전시키는 동시에 상기 피가공물을 직선이동시키면서 전자석에 부착된 자기유변유체를 통해 피가공물의 표면을 평탄하고 고르게 연마 가공할 수 있도록 하는 자기유변유체를 이용한 피가공물의 자기유변 연마장치 및 그 연마방법을 제공한다.</p> |
