| 摘要 |
<p>(과제) 지금까지보다 작은 브레이크 하중으로 분단할 수 있는 브레이크 장치를 제공한다. (해결 수단) 취성 재료 기판을 올려놓는 테이블(12)과, 기판에 면 접촉시키는 롤러(32)를 회전이 자유롭게 지지함과 함께, 롤러를 상기 기판에 압접시킨 상태에서 압접 방향으로 진동을 부여하는 진동 액츄에이터(38)를 구비한 롤러 헤드(40)와, 롤러 헤드를 기판면을 따라서 상대적으로 이동시키는 이동 기구(22)를 구비하고, 제1 면에 스크라이브 라인(S)이 형성된 취성 재료 기판에 대하여, 제1 면의 뒤쪽이 되는 제2 면의 스크라이브 라인의 바로 뒤에 위치하는 압접 예정 라인을 따라서 롤러를 압접 상태로 하여 압접 방향으로 진동을 부여하면서 상대 이동한다.</p> |
