| 摘要 |
<p>본 발명은 기판(3)을 비접촉 상태로 부상시키는 기판 부상 블록(1, 11, 16)과, 상기 기판 부상 블록(1, 11, 16)상에 부상된 상기 기판(3)의 단부를 지지하여 반송하는 반송 기구와, 상기 기판(3)의 반송방향(C)에 직교하는 방향의 상기 기판 부상 블록(1, 11, 16)의 양측부 또는 상기 양측부에 근접되는 위치에 설치되고, 상기 기판 부상 블록(1, 11, 16)의 양측부로부터 직행하는 방향으로 돌출되는 상기 기판(3)의 양단부를 하면측에서 지지하는 기판 지지 기구(49)를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치를 제공한다. 기판 부상 블록 상에 기판을 부상시켜 반송할 때에, 기판을 기판 부상 블록에 접촉시키지 않고 수평으로 반송할 수 있도록 한다.</p> |
