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<p>본 발명에서는, 술포닐기를 가지는 특정한 산 촉매의 존재 하,-치환 아크릴산을 함불소알켄에 직접 부가 반응시켜,-치환 아크릴산 에스테르계의 함불소 레지스트용 모노머류를 제조한다. 특정한 산 촉매를 사용함으로써, 알켄의 이성화, 디올체의 생성,-치환 아크릴산의 과부가 반응이 부반응으로서 진행되는 가운데, 목적으로 하는 함불소알켄과-치환 아크릴산의 부가 반응을 효율적으로 진행시켜, 공업적 규모로-치환 아크릴산 에스테르계의 함불소 레지스트용 모노머류를 제조할 수 있다.</p> |
