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<p>크로스 콘태미네이션을 저감시키면서 동일 처리 용기 내에서 복수층의 막을 연속적으로 형성한다. 증착 장치(10)는 수납된 상이한 성막 재료를 각각 기화시키는 복수의 증착원(210)과, 복수의 증착원(210)에서 기화된 성막 재료를 분출구(Op)로부터 분출하는 복수의 분출 기구(110)와, 인접하는 분출 기구(110)를 구획하는 1 또는 2 이상의 격벽(120)을 가지고 있다. 1 또는 2 이상의 격벽(120)은 각 격벽(120)으로부터 기판(W)까지의 갭(G), 각 분출구(Op)로부터 각 격벽(120)의 상면까지의 높이(T), 각 격벽의 두께(D) 및 각 증착원(210)의 중심 위치로부터 각 격벽(120)의 중심 위치까지의 거리(E)의 관계가 E < (G + T) × D × G/2 가 되도록 각각 배설(配設)한다. 또한, 성막 재료의 최장 비거리는 성막 재료의 평균 자유 행정보다 짧아지도록 증착 장치(10)의 내부 압력을 0.01 Pa 이하로 제어한다.</p> |
