发明名称 |
POLYMER, COMPOSITION FOR PROTECTION LAYER AND PATTERNING METHOD BY USING SAME |
摘要 |
<p>(상기 화학식 1의 각 부호는 명세서의 상세한 설명에 정의된 바와 같다.)</p> |
申请公布号 |
KR101212668(B1) |
申请公布日期 |
2012.12.14 |
申请号 |
KR20090112858 |
申请日期 |
2009.11.20 |
申请人 |
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发明人 |
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分类号 |
C08F20/22;C08F220/22;C08F220/38;G03F7/004 |
主分类号 |
C08F20/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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