| 摘要 |
<p>본 발명은 로더(loader)에서 스토커(stocker) 내부로 형성되는 기류로 인해 스토커 내부가 오염되는 것을 방지하기 위한 로더와 스토커의 기류 제어 장치 및 그 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 보관 시스템은 공정 설비와 연결된 로더 및 상기 로더와 연결된 스토커를 포함하고, 상기 로더와 상기 스토커 사이에 발생되는 기류를 제어하는 기류 제어 장치를 포함한다. 이 때, 상기 로더는 몸체, 상기 로더의 몸체에 설치된 팬필터 유닛 및 상기 로더의 몸체에 설치된 그레이팅을 포함하고, 상기 기류 제어 장치는 상기 팬필터 유닛에 연결되어 상기 팬필터 유닛의 팬 속도를 제어하는 팬필터 유닛 컨트롤러와 상기 그레이팅에 연결되어 상기 그레이팅의 개방율을 조절하는 그레이팅 개방율 컨트롤러 중 적어도 하나의 컨트롤러 및 상기 로더와 스토커 사이에 위치하여 기류를 측정하는 유속 센서를 포함한다.</p> |
