发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR DETERMINING MATERIAL PROPERTIES OF A SUBSTRATE SAMPLE IN THE TERAHERTZ FREQUENCY SPECTRUM |
摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bestimmung von Material-Eigenschaften einer beschichteten oder unbeschichteten Substrat- Probe im elektromagnetischen Tera-Hertz-Frequenzspektrum, insbesondere von einer mit wenigstens einer Schicht beschichteten, bevorzugt faserverstärkten Substrat-Probe, dadurch gekennzeichnet, dass die Substrat-Probe mit wenigstens zwei sich kollinear ausbreitenden von wenigstens zwei Tera-Hertz-Emittern erzeugten Tera-Hertz-Lichtpulsen unterschiedlicher Polarisation, insbesondere mit gleichem Strahlquerschnitt beleuchtet wird und die von der Substrat-Probe reflektierten und/oder durch die Substrat-Probe transmittierten Tera-Herz-Lichtpulse hinsichtlich der Intensität und/oder elektrischen Feldstärke in wenigstens zwei, bevorzugt drei verschiedenen Polarisationsrichtungen zeitaufgelöst vermessen werden.</p> |
申请公布号 |
WO2012167907(A1) |
申请公布日期 |
2012.12.13 |
申请号 |
WO2012EP02376 |
申请日期 |
2012.06.05 |
申请人 |
AUTOMATION DR. NIX GMBH & CO. KG;BERTA, MILAN;FEIGE, VOLKER |
发明人 |
BERTA, MILAN;FEIGE, VOLKER |
分类号 |
G01N21/23;G01N21/35 |
主分类号 |
G01N21/23 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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