Mikromechanischer Aktuator mit elektrostatischem Kamm-Antrieb

摘要

Mikromechanischer Aktuator, insbesondere Mikrospiegelscanner, mit – einer Aktuatoreinheit (1–3) in einem äußeren Rahmen (5), die über zwei sich entlang einer äußeren Kippachse der Aktuatoreinheit (1–3) erstreckende Torsionselemente (4) in dem äußeren Rahmen (5) aufgehängt ist, und – elektrostatischen Kippantrieben (14, 15) aus ineinander greifenden ersten und zweiten kamm- oder fingerförmigen Elektroden (16, 17), die einen gegenseitigen Höhenversatz aufweisen und von denen die ersten Elektroden (17) starr mit dem äußeren Rahmen (5) und die zweiten Elektroden (16) jeweils über ein äußeres Verbindungselement (18) mit dem äußeren Rahmen (5) und über ein inneres Verbindungselement (12, 13) mit der Aktuatoreinheit (1–3) verbunden sind, wobei das äußere Verbindungselement (18) so ausgebildet ist, dass es in einer vertikalen Richtung zu einer Ebene des äußeren Rahmens (5) eine Verbiegung ermöglicht, und wobei das innere Verbindungselement (12, 13) zwei Federn umfasst, die sich parallel zur äußeren Kippachse erstrecken, jeweils in einem Bereich...