发明名称 Drucksensor und Verfahren zu dessen Herstellung
摘要 Drucksensor (1) mit einem Gehäuse (4), das ein Halbleiterelement (3) und einen Druckmessaufnehmer (2) einfasst, wobei der Druck eines Druckraumes (10) über eine Membran (5) auf den Druckmessaufnehmer (2) übertragbar ist, wobei das Gehäuse (4) derart gestaltet ist, dass das Halbleiterelement (3) nicht unmittelbar mit dem Druckraum (10) in Kontakt steht und die Membran (5) des Druckmessaufnehmers (2) eine Kunststoffverbindung umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass die Membran (5) mit einer zusätzlichen Materialschicht (7) auf einer dem Druckraum (10) zugewandten Fläche beschichtet ist, wobei die Materialschicht (7) mindestens eine metallhaltige Komponente enthält, wobei die Membran (5) ein Zwischenelement (6) aus einer Kunststoffverbindung aufweist und das Zwischenelement (6) mit dem Druckmessaufnehmer (2) unmittelbar in Kontakt steht, wobei der Druckmessaufnehmer (2) ein kapazitiver Sensor ist, der die elektrische Veränderung der leitfähigen Materialschicht (7) bzw. die Abstandsänderung der Materialschicht relativ zur Position des Druckmessaufnehmers (2) detektiert, so dass auf den an der Membran (5) anliegenden...
申请公布号 DE102007042976(B4) 申请公布日期 2012.12.13
申请号 DE200710042976 申请日期 2007.09.10
申请人 CONTINENTAL AUTOMOTIVE GMBH 发明人 REITMEIER, WILLIBALD;WILDGEN, ANDREAS, DR.
分类号 G01L19/06;G01L9/00 主分类号 G01L19/06
代理机构 代理人
主权项
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